結合jandel公司生產的四探針探頭對晶片的電阻率進行測量。主要特點:
可簡單預設待測晶片上1到25個測量位置;
8英寸/6英寸晶片真空吸盤;
帶有電流開關的杠桿操作探頭,可避免產生火花;
定位精度小于±1mm;
幻燈片準確度不高于測量區域;
遮蓋待測區域,消除光電干擾;
技術指標:
| 8〞型號表 | 具有真空卡槽、定心凹槽,鑷子切口的硬鋁合金 |
| 晶片尺寸 | Φ=5〞/6〞/8〞 |
| 預設測量位置 | 中心點:垂直直徑四個點,32,38,50,57,68,94mm 晶片 1/2R 距邊緣6mm 5〞 32mm 57mm 6〞 38mm 68mm 8〞 50mm 94mm |
| 6〞號晶片尺寸 | Φ=3〞/4〞/5〞/6〞 |
| 預設測量位置 | 中心點;垂直直徑四個點,15,20,25,35,50,60mm |
| 可配 | 真空線路、真空泵 |
| 外形尺寸 | 355mm * 215mm * 195mm(H) |
| 凈重 | 6〞:3.5kg 8〞:4.0kg |
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